ICS29.045 H82 中华人民共和国国家标准 GB/T30861—2014 太 阳能电池用锗衬底片 Germaniumsubstrateforsolarcell 2014-07-24发布 2015-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会 (SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本标准起草单位:中锗科技有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、厦门乾照光电有限公司、天 津三安光电有限公司。 本标准主要起草人:孙小华、刘绍良、张莉萍、普世坤、王向武、林桂江。 ⅠGB/T30861—2014 太阳能电池用锗衬底片 1 范围 本标准规定了太阳能电池用锗衬底片的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量 证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于垂直梯度凝固法(VGF)和直拉法(CZ)制备的太阳能电池用锗衬底片(以下简称锗衬 底片)。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T6619 硅片弯曲度测试方法 GB/T6620 硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T6621 硅片表面平整度测试方法 GB/T6624 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T13387 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 GB/T26072 太阳能电池用锗单晶 3 要求 3.1 产品分类 锗衬底片按导电类型分为两种: a) N型:主要用于单结电池; b) P型:主要用于三结电池。 3.2 规格 锗衬底片按直径分为Φ50.8mm、Φ100mm、Φ150mm。 3.3 物理性能及位错密度 锗衬底片导电类型、掺杂剂、电阻率、晶向及晶向偏离度、载流子浓度和位错密度应符合 GB/T26072的规定。 3.4 外形尺寸 锗衬底片的外形尺寸应符合表1的规定。 1GB/T30861—2014 表1 外形尺寸 项目 要求 直径/mm 50.8 100 150 直径允许偏差/mm ±0.2 ±0.2 ±0.2 厚度、中心点/μm 140~200 140~200 240~270 厚度允许偏差/μm ±15 ±15 ±15 主参考面长度/mm 17±1.0 32.5±1.0 57.5±2.5 总厚度变化(TTV)/μm ≤10 ≤15 ≤15 弯曲度(BOW)/μm ≤15 ≤20 ≤30 翘曲度(WARP)/μm ≤15 ≤20 ≤30 总平整度(TIR)/μm ≤5 ≤5 ≤5 3.5 强度 Φ50.8mm、Φ100mm、Φ150mm锗衬底片的强度都应≥22.25N(51bf)。 3.6 表面质量 锗衬底片的表面质量应符合表2的规定。 表2 表面质量 正 表 面序号 项目 最大缺陷限度 1 划伤 无 2 蚀坑 无 3 雾 无 4亮点 (颗粒沾污)锗衬底片直径/mm 50.8 100 150 数量/(个/片) 4 10 15 5 区域沾污 无 6 崩边 无 7 裂纹 无 8 凹坑 无 9 沟(槽) 无 10 小丘 无 11 橘皮、波纹 无 12 状态 开盒即用 背 表 面13 崩边 无 14 裂纹 无 15 区域沾污 无 16 背表面处理 酸或碱腐蚀,吸除处理或由供需双方商定 2GB/T30861—2014 3.7 其他 需方如有对本标准规定以外的技术要求,由供需双方另行商定。 4 试验方法 4.1 锗衬底片的导电类型、电阻率、晶向及晶向偏离度、载流子浓度、位错密度测量按GB/T26072规 定的方法进行。 4.2 锗衬底片的直径测量用千分尺或精度相当的量具进行。 4.3 锗衬底片的厚度和总厚度变化测量参照GB/T6618规定的方法进行。 4.4 锗衬底片的主参考面长度的测量参照GB/T13387规定的方法进行。 4.5 锗衬底片的弯曲度的测试参照GB/T6619规定的方法进行。 4.6 锗衬底片的翘曲度的测试参照GB/T6620规定的方法进行。 4.7 锗衬底片的总平整度的测试参照GB/T6621规定的方法进行。 4.8 锗衬底片的强度的测试参照附录A进行。 4.9 锗衬底片的表面质量的测试参照GB/T6624规定的方法进行。 5 检验规则 5.1 检查和验收 5.1.1 产品应由供方技术(质量)监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准(或合同)的规定,并填 写产品质量证明书。 5.1.2 需方可对收到的产品按本标准(或合同)的规定进行检验,若检验结果与本标准(或订货合同)的 规定不符时,应在收到产品之日起三个月内向供方提出,由供需双方协商解决。 5.2 组批 锗衬底片应成批提交验收,每批应由相同规格的产品组成。 5.3 检验项目 每批锗衬底片抽检的项目有物理性能及位错密度、外形尺寸、强度和表面质量。 5.4 抽样验收 5.4.1 每批锗衬底片如属非破坏性测量的项目,检测按GB/T2828.1一般检验水平Ⅱ,正常检验一次 抽样方案,或由供需双方协商确定的抽样方案进行。 5.4.2 如属破坏性测量的项目,检测按GB/T2828.1特殊检验水平S-2,正常检验一次抽样方案,或由 供需双方协商确定的抽样方案进行。 5.5 检验结果的判定 5.5.1 锗衬底片的导电类型、晶向与本标准规定不符时,则判该批产品为不合格。 5.5.2 锗衬底片的其他检验项目的接收质量限(AQL)见表3。抽检不合格的产品,供方可对不合格项 进行全数检验,除去不合格品后,合格品可以重新组批。 3GB/T30861—2014 表3 检验项目及接收质量限 序 号 检验项目 接收质量限(AQL) 1 电阻率 1.0 2 直径允许偏差 1.0 3 厚度允许偏差 1.0 4 主参考面长度 1.0 5 总厚度变化 1.0 6 弯曲度 1.0 7 翘曲度 1.0 8 总平整度 1.0 9 强度 1.0 10 表面质量划伤、蚀坑、雾 累计1.0 亮点 1.0 区域沾污 1.0 崩边、裂纹 累计1.0 沟槽、凹坑、小丘、橘皮 累计1.0 波纹 1.0 累计 2.5 5.5.3 需方如有其他判定要求,由供需双方另行商定。 6 标志、包装、运输和贮存 6.1 标志和包装 6.1.1 锗衬底片应在5级洁净室的环境中,装入专用的装运盒,外用洁净的塑料袋和防潮、防静电的铝 箔袋充氮气真空包装。 6.1.2 上述产品包装完后,贴上标签,注明:生产厂名称、商标、产品名称、型号、规格、产品编号、净重、 执行标准、生产日期。 6.1.3 将经过包装的锗衬底片装入包装箱内,并装满填充物,防止松动。包装箱外侧应有“小心轻放”、 “防潮”、“易碎”、“防腐”等标识,并标明: a) 需方名称,地点; b) 产品名称; c) 产品片数及重量(毛重/净重); d) 供方名称。 6.2 运输和储存 6.2.1 产品在运输过程中应轻装轻卸,勿压勿挤,并采取防震防潮措施。 6.2.2 产品应贮存在清洁、干燥的环境中。 6.2.3 每批产品应附有产品质量证明书,其上注明: 4GB/T30861—2014 a) 供方名称; b) 产品名称及规格; c) 产品批号; d) 产品净重及片数; e) 各项参数检验结果和检验部门的印记; f) 本标准编号; g) 出厂日期。 7 订货单(或合同)内容 本标准所列材料的订货单(或合同)内应包括下列内容: a) 产品名称; b) 型号; c) 数量; d) 规格、技术要求; e) 本标准编号; f) 其他需要协商或增加标准以外要求的内容。 5GB/T30861—2014 附 录 A (规范性附录) 锗衬底片强度测试方法 A.1 范围 本方法规定了锗衬底片强度的测试方法。 A.2 方法提要 首先调整加压探头与圆环形托架之间的距离,以便将锗衬底片放在一个圆环形托架的平台上,如图 A.1所示。加压探头以一定的速度向圆环形托架做相对运动。当加压探头与锗衬底片接触时,将以一 定的力施压在锗衬底片上,直至锗衬底片破裂为止,系统自动记录锗衬底片所能承受的最大压力,将这 一压力值记为试样的机械强度。 图A.1 强度测试原理图 A.3 干扰因素 A.3.1 由于圆环形托架的尺寸对测量结果有影响,测量时应根据锗衬底片的尺寸选择合适的圆环形 托架。 A.3.2 由于探针压力对测量结果有影响,测量时应选择合适的加压探头。 A.3.3 设备硬件的不同或测量参数的不同设置可能会影响测量结果。 A.3.4 加压探头和圆环形托架平台之间的外来颗粒、沾污会影响测量结果。 A.4 仪器及样品 A.4.1 仪器 A.4.1.1 压力探针。 A.4.1.2 电动立式测试台。 A.4.1.3 圆环形托架。 A.4.2 环境条件 测试温度:20℃±5℃,相对湿度≤65%。 6GB/T30861—2014