(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN102023162A (43)申请公布日2011.04.20 (21)申请号201010212286.1 (22)申请日2010.06.22 (30)优先权数据 10-2009-00858522009.09.11KR (71)申请人三星移动显示器株式会社 地址韩国京畿道 (72)发明人朴时映 (74)专利代理机构北京德琦知识产权代理有限 公司11018 代理人周艳玲罗正云 (51) Int. CI. G01N21/88(2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54）发明名称 掩膜缺陷检测装置 (57）摘要 100 种掩膜缺陷检测装置，包括张紧夹具单元， 60 该张紧夹具单元具有之上定位有待检测的金属掩 膜的支架、设置在该支架两侧以固定所述金属掩 20~ 膜的相对边缘的夹紧部件和将张紧力施加到由该 30 MM 夹紧部件固定的所述金属掩膜上的张紧部件；以 及用于检测由该张紧夹具单元固定的所述金属掩 膜的检测单元。定位在该支架上的所述金属掩膜 与所述检测单元之间的垂直距离小于或等于所述 50 张紧夹具单元与所述检测单元之间的垂直距离。 102023162 3 权利要求书 1/1 页 CN102023162A 1.一种掩膜缺陷检测装置，包括： 张紧夹具单元，包括之上定位有待检测的金属掩膜的支架、设置在所述支架两侧以 固定所述金属掩膜的相对边缘的夹紧部件和将张紧力施加到由所述夹紧部件固定的所述 金属掩膜的张紧部件；以及 用于检测由所述张紧夹具单元固定的所述金属掩膜的检测单元， 其中定位在所述支架上的所述金属掩膜与所述检测单元之间的垂直距离小于或等于 所述张紧夹具单元与所述检测单元之间的垂直距离， 2.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中： 定位在所述支架上的所述金属掩膜在所述支架的边缘处以预定角度弯曲，使得所述 金属掩膜被固定到所述夹紧部件。 3.根据权利要求2所述的掩膜缺陷检测装置，其中所述预定角度处于10°到30°的 范围内。 4.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中： 固定所述金属掩膜的所述边缘的所述夹紧部件的固定表面相对于之上定位有所述金 属掩膜的所述支架的表面具有预定倾斜角度。 5.根据权利要求4所述的掩膜缺陷检测装置，其中所述预定倾斜角度处于10°到 30°的范围内。 6.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中： 所述张紧部件牵引所述夹紧部件以将所述张紧力施加到所述金属掩膜。 7.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，进一步包括： 传送单元，用于相对于所述检测单元和所述张紧夹具单元的一个沿平行方向传送所 述检测单元和所述张紧夹具单元中的另一个。 8.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中： 所述检测单元包括用于检测定位在所述支架上的所述金属掩膜的缺陷的存在的摄像 机单元和围绕所述摄像机单元设置以照明所述金属掩膜的照明单元。 9.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中所述金属掩膜与所述检测单元之间 的所述垂直距离小于或等于所述夹紧部件与所述检测单元之间的垂直距离。 10.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中所述金属掩膜与所述检测单元之 间的所述垂直距离小于或等于所述张紧部件与所述检测单元之间的垂直距离。 2 说明书 CN102023162A 1/4页 掩膜缺陷检测装置 技术领域 [0001]本发明的各个方面总体上涉及一种掩膜缺陷检测装置，更具体地说，涉及一种 检测显示面板制造工艺中用的掩膜是否有缺陷的掩膜缺陷检测装置。 背景技术 [0002]显示面板制造工艺一般使用各种类型的掩膜。例如，精密工艺使用金属掩膜。 然而，在某些情况下会产生缺陷，例如细小的外来物质附着于金属掩膜上而导致掩膜的 图案损坏。使用具有这些缺陷的金属掩膜将造成整个制造工艺的大量损失。 [0003]因而，在使用金属掩膜之前或之后，应该定期检测金属掩膜的缺陷的存在。一 种检测金属掩膜的缺陷的方法是将待检测的金属掩膜固定在夹具上，然后使用检测掩膜 对固定的金属掩膜的缺陷进行检测。这时，由于摄像机更紧密地接近待检测的金属掩 膜，因此使探测图案损坏和外来物质的能力得到提高。 [0004]然而，由于固定所述金属掩膜的边缘的夹具的夹持器一般具有向上突出的结 构，所以检测摄像机只能在不与此夹具碰撞的范围内接近固定在夹具上的金属掩膜。换 句话说，由于固定所述金属掩膜的夹具的上述结构，摄像机接近待检测的金属掩膜或者 检测金属掩膜的边缘部分受到限制。因此，不能精确且稳定地检测金属掩膜缺陷的存 在。 发明内容 [0005]本发明的各个方面提供一种能够精确且稳定地检测金属掩膜缺陷的存在的掩膜 缺陷检测装置。 [0006]根据本发明的一个方面，提供一种掩膜缺陷检测装置。该装置包括：张紧夹具 单元，该张紧夹具单元具有之上定位有待检测的金属掩膜的支架、设置在所述支架两侧 以固定所述金属掩膜的相对边缘的夹紧部件、和将张紧力施加到由所述夹紧部件固定的 所述金属掩膜的张紧部件；以及用于检测由所述张紧夹具单元固定的所述金属掩膜的检 测单元，其中定位在所述支架上的所述金属掩膜与所述检测单元之间的垂直距离小于或 等于所述张紧夹具单元与所述检测单元之间的垂直距离。 [0007]根据本发明的另一个方面，定位在所述支架上的所述金属掩膜在支架的边缘处 以预定角度弯曲，使得所述金属掩膜能固定到所述夹紧部件上。 [0008] 根据本发明的另一个方面，所述预定角度可以处于10°到30°的范围内。 [0009] 根据本发明的另一个方面，固定所述金属掩膜的所述边缘的所述夹紧部件的固 定表面可以相对于之上定位有所述金属掩膜的所述支架的表面具有预定倾斜角度。 [0010】根据本发明的另一个方面，所述预定倾斜角度可以处于10°到30°的范围内。 [0011] 根据本发明的另一个方面，所述张紧部件可以牵引所述夹紧部件以将所述张紧 力施加到所述金属掩膜。 [0012] 根据本发明的另一个方面，掩膜缺陷检测装置可以进一步包括传送单元，以相 3 说明书 CN102023162A 2/4页 对于所述检测单元和所述张紧夹具单元中的一个沿平行方向传送所述检测单元和所述张 紧夹具单元中的另一个。 [0013]根据本发明的另一个方面，所述检测单元包括用于检测定位在所述支架上的所 述金属掩膜缺陷的存在的摄像机单元和围绕所述摄像机单元设置以照明所述金属掩膜的 照明单元。 [0014]根据本发明的另一个方面，所述金属掩膜与所述检测单元之间的所述垂直距离 小于或等于所述夹紧部件与所述检测单元之间的垂直距离。 [0015]根据本发明的另一个方面，所述金属掩膜与所述检测单元之间的所述垂直距离 小于或等于所述张紧部件与所述检测单元之间的垂直距离。 [0016]根据本发明的另一个方面，所述掩膜缺陷检测装置能够精确且稳定地检测所述 金属掩膜缺陷的存在。 [0017]】本发明另外的方面和／或优点部分地将在后面的描述中提出，部分地根据说明 书将变得明显的，或者可以从对本发明的实践中获悉。 附图说明 [0018]］通过结合附图下面对实施例所作描述，本发明的这些和／或其它方面以及优点 将变得明显和更容易理解，其中： [0019] 图1是根据本发明的实施例的掩膜检测装置的主视图； [0020] 图2是图1的张紧夹具单元的主视图； [0021] 图3是图1中的张紧夹具单元的局部俯视图； [0022] 图4是图1中的张紧夹具单元的局部放大图。 具体实施方式 [0023]接下来将详细介绍本发明的实施例，其示例被图解于附图中，其中相同的附图 标记始终是指相同的元件。为了解释本发明，下面将参照附图描述各个实施例。 [0024]另外，鉴于附图中示出的组成构件的尺寸和厚度是为了更好的理解和容易描述 而任意给出的，本发明的各方面不限于图解的尺寸和厚度。在图中，各层、各区域等的 厚度是为了清楚和容易地理解而被夸大。可以理解的是，当例如层、薄膜、区域或基板 等元件被描述成在其它元件“之上”时，它可以是直接在其它元件之上，或者由居间元 件分开。 [0025]在下文中，将参照图1-4描述根据本发明实施例的掩膜缺陷检测装置100。如图 1所示，掩膜缺陷检测装置100包括张紧夹具单元30和检测单元20。掩膜缺陷检测装置 100可进一步包括之上安装有张紧夹具单元30的基础构件50。根据本发明的其它方面， 掩膜缺陷检测装置100可以包括另外的组件。 [0026］如图2和图3所示，张紧夹具单元30包括支架31、夹紧部件32和张紧部件33。 待检测的金属掩膜（MM）定位在支架31上。夹紧部件32设置在支架31的两侧以固定 两侧的一对夹紧部件32中的任意一个，以将张紧力施加到由夹紧部件32固定的金属掩膜 (MM）。夹紧部件32和张紧部件33紧紧地将金属掩膜（MM）固定在支架31上，使得检 4 说明书 CN102023162A 3/4页 测单元20能够有效地检测金属掩膜（MM）。 [0027]再次参照图1，检测单元20包括摄像机单元21和照明单元22。摄像机单元21 检测定位在张紧夹具单元30的支架31上的金属掩膜（MM）缺陷的存在。照明单元22围 绕摄像机单元21设置以在金属掩膜（MM）上发射光线，使得摄像机单元21可以更精确地 检测金属掩膜（MM）缺陷的存在。根据本发明的其它方面，照明单元22可以省略。 [0028]检测单元20使用摄像机单元21以检测缺陷的存在，例如附着于金属掩膜（MM) 的细小的外来物质。因此，当摄像机单元21接近待检测的金属掩膜（MM）时，检测可以 更精确地施行。 [002