书 书 书犐犆犛 ７１ ． １００ ． ２０ 犆犆犛犌 ８６ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 １７８７４ — ２０２１ 代替 犌犅 ／ 犜 １７８７４ — ２０１０ 电子特气 　 三氯化硼 犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊狆犲犮犻犪犾狋狔犵犪狊 — 犅狅狉狅狀狋狉犻犮犺犾狅狉犻犱犲 ２０２１  １０  １１ 发布 ２０２２  ０５  ０１ 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布书 书 书前 　　 言 　　 本文件按照 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２０２０ 《 标准化工作导则 　 第 １ 部分 ： 标准化文件的结构和起草规则 》 的规定起草 。 本文件代替 ＧＢ ／ Ｔ１７８７４ — ２０１０ 《 电子工业用气体 　 三氯化硼 》。 与 ＧＢ ／ Ｔ２１２８７ — ２００７ 相比 ， 除结构调整和编辑性改动外 ， 主要技术变化如下 ： ——— 更改了三氯化硼应符合的技术要求 （ 见第 ４ 章 ， ２０１０ 年版的第 ３ 章 ）； ——— 更改了检验规则的要求 （ 见第 ５ 章 ， ２０１０ 年版的 ４．１ ）； ——— 更改了纯度计算方法 （ 见 ６．１ ， ２０１０ 年版的 ４．２ ）； ——— 更改了氧 ＋ 氩 、 氮 、 一氧化碳 、 二氧化碳甲烷含量的测定方法 （ 见 ６．２ ， ２０１０ 年版的 ４．４ 、 ４．５ ）； ——— 增加了四氯化硅含量的测定方法 （ 见 ６．２ ）； ——— 增加了氯气含量的测定方法 （ 见 ６．３ ）； ——— 增加了碳酰氯 、 氯化氢含量的测定方法 （ 见 ６．４ ）； ——— 更改了金属元素的测定方法 （ 见 ６．５ ， ２０１０ 年版的 ４．７ ）； ——— 删除了颗粒的测定 （ ２０１０ 年版的 ４．８ ）； ——— 更改了标志 、 包装 、 运输及贮存 （ 见第 ７ 章 ， ２０１０ 年版的第 ５ 章 ）； ——— 更改了安全信息 （ 见 ７．３ ， ２０１０ 年版的 ５．２ ）。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。 本文件的发布机构不承担识别专利的责任 。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） 提出并归口 。 本文件起草单位 ： 大连保税区科利德化工科技开发有限公司 、 中昊光明化工研究设计院有限公司 、 和立气体 （ 上海 ） 有限公司 、 太和气体 （ 荆州 ） 有限公司 、 广东华特气体股份有限公司 、 海宁市英德赛电子有限公司 、 福建久策气体股份有限公司 、 中船重工 （ 邯郸 ） 派瑞特种气体有限公司 、 江西华特电子化学品有限公司 、 苏州金宏气体股份有限公司 、 沁阳国顺硅源光电气体有限公司 、 上海兄弟微电子技术有限公司 、 浙江省化工研究院有限公司 、 昊华气体有限公司西南分公司 、 杭州市消费者权益保护委员会秘书处 （ 杭州国家电子商务产品质量监测处置中心 ）、 上海申南特种气体有限公司 、 上海华爱色谱分析技术有限公司 、 大连大特气体有限公司 、 上海凡伟仪器设备有限公司 、 联雄投资 （ 上海 ） 有限公司 、 沈阳中复科金压力容器有限公司 、 浙江东开半导体科技有限公司 、 昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、 西南化工研究设计院有限公司 、 西南化工研究设计院有限公司武汉分公司 、 西南化工研究设计院有限公司双流分公司 。 本文件主要起草人 ： 施旖旎 、 赵 ? 、 孙福楠 、 梁永强 、 梁成科 、 阳辉 、 傅铸红 、 陈艳珊 、 丁高松 、 何经余 、 曹素英 、 宋富财 、 苏子杰 、 廖恒易 、 刘健 、 史婉君 、 张建君 、 王新喜 、 孙猛 、 史隽涛 、 周礼誉 、 鬲春利 、 张琦炎 、 吕博文 、 陈洁 、 吴靓 、 方华 、 辛伶 、 何波 、 黄小强 、 黄辉 、 刘扬涛 、 宫兵 、 易达文 、 李阳 、 高静 、 李威 、 赵帅德 、 余民 、 周鹏云 、 沈翠平 。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为 ： ——— １９９９ 年首次发布为 ＧＢ ／ Ｔ１７８７４ — １９９９ ， ２０１０ 年第一次修订 ； ——— 本次为第二次修订 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 １７８７４ — ２０２１ 电子特气 　 三氯化硼 １ 　 范围 本文件规定了电子级三氯化硼的技术要求 、 检验规则 、 试验方法 、 标志 、 包装 、 运输 、 贮存及安全信息的要求 。 本文件适用于以粗制三氯化硼为原料提纯制得的电子级三氯化硼 。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款 。 其中 ， 注日期的引用文件 ， 仅该日期对应的版本适用于本文件 ； 不注日期的引用文件 ， 其最新版本 （ 包括所有的修改单 ） 适用于本文件 ＧＢ１９０ 　 危险货物包装标志 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 　 工业用化学产品采样安全通则 ＧＢ ／ Ｔ５０９９ （ 所有部分 ） 　 钢质无缝气瓶 ＧＢ ／ Ｔ７１４４ 　 气瓶颜色标志 ＧＢ ／ Ｔ１１７３６ 　 居住区大气中氯卫生检验标准方法 　 甲基橙分光光度法 ＧＢ ／ Ｔ１４１９３ 　 液化气体气瓶充装规定 ＧＢ１５２５８ 　 化学品安全标签编写规定 ＧＢ ／ Ｔ１６８０４ 　 气瓶警示标签 ＧＢ ／ Ｔ２８７２６ 　 气体分析 　 氦离子化气相色谱法 ＧＢ ／ Ｔ３３１４５ 　 大容积钢质无缝气瓶 ＧＢ ／ Ｔ３４９７２ 　 电子工业用气体中金属含量的测定 　 电感耦合等离子体质谱法 ＴＳＧ０７ 　 特种设备生产和充装单位许可规则 ＴＳＧ２３ 　 气瓶安全技术规程 ３ 　 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义 。 ４ 　 技术要求 三氯化硼的技术要求应符合表 １ 的规定 。 表 １ 　 技术要求 项目 指标 三氯化硼 （ ＢＣｌ ３ ） 纯度 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≥ ９９．９９９ ≥ ９９．９９９５ ≥ ９９．９９９９ （ 氧 ＋ 氩 ）（ Ｏ ２ ＋Ａｒ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ １ ＜ ０．５ ＜ ０．２５ １ 犌犅 ／ 犜 １７８７４ — ２０２１ 表 １ 　 技术要求 （ 续 ） 项目 指标 氮 （ Ｎ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ４ ＜ ０．５ ＜ ０．３０ 一氧化碳 （ ＣＯ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ １ ＜ ０．３ ＜ ０．０５ 二氧化碳 （ ＣＯ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ １ ＜ ０．５ ＜ ０．１ 甲烷 （ ＣＨ ４ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．５ ＜ ０．５ ＜ ０．１ 氯气 （ Ｃｌ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．５ ＜ ０．１ ＜ ０．１ 碳酰氯 （ ＣＯＣｌ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ １ ＜ ０．１ ＜ ０．１ 氯化氢 （ ＨＣｌ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ — ＜ ３ ＜ １ 四氯化硅 （ ＳｉＣｌ ４ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ３ ＜ ２ ＜ ０．１ 杂质总含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ １０ ≤ ５ ≤ １ 金属元素及 其他元素含量钙 （ Ｃａ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 铬 （ Ｃｒ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 铜 （ Ｃｕ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 铅 （ Ｐｂ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 镁 （ Ｍｇ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 锰 （ Ｍｎ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 镍 （ Ｎｉ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 硅 （ Ｓｉ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 锌 （ Ｚｎ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 锂 （ Ｌｉ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 锑 （ Ｓｂ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 钡 （ Ｂａ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 铝 （ Ａｌ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ １０ 钾 （ Ｋ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ２０ 钠 （ Ｎａ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ２０ 砷 （ Ａｓ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ２０ 铁 （ Ｆｅ ） 含量 ／（ μ ｇ ／ ｋｇ ） ≤ ３０ ５ 　 检验规则 ５ ． １ 　 抽样和判定 三氯化硼产品应逐一检验并验收 。 当检验结果均符合表 １ 的技术要求时 ， 判该产品合格 。 当检验结果有任何一项指标不符合表 １ 的技术要求时 ， 则判该产品不合格 。 ２ 犌犅 ／ 犜 １７８７４ — ２０２１ ５ ． ２ 　 采样 三氯化硼的采样安全应符合 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 的规定 。 ５ ． ３ 　 尾气处理 测定时 ， 应有三氯化硼尾气处理措施 ， 以防止三氯化硼对环境的污染 。 ６ 　 试验方法 警示 ——— 本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况 ， 使用者应采取适当的安全和健康防护措施 。 ６ ． １ 　 三氯化硼纯度 ６ ． １ ． １ 　 杂质总含量 杂质总含量按公式 （ １ ） 计算 ： Φ １０ ＝ Φ １ ＋ Φ ２ ＋ Φ ３ ＋ Φ ４ ＋ Φ ５ ＋ Φ ６ ＋ Φ ７ ＋ Φ ８ ＋ Φ ９ ………………（ １ ） 　　 式中 ： Φ １ ———（ 氧 ＋ 氩 ） 含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ２ ——— 氮含量 （ 体积分数