说明:收录90万 73个行业的国家标准 支持批量下载
书 书 书犐犆犛 77 . 040 犎 25 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 / 犜 14142 — 2017 /G21 /G22 GB / T14142 — 1993 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D   /G2E /G2F /G2D 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犮狉狔狊狋犪犾犾狅犵狉犪狆犺犻犮狆犲狉犳犲犮狋犻狅狀狅犳犲狆犻狋犪狓犻犪犾犾犪狔犲狉狊犻狀狊犻犾犻犮狅狀 — 犈狋犮犺犻狀犵狋犲犮犺狀犻狇狌犲 2017  09  29 /G30 /G31 2018  04  01 /G32 /G33 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G2F /G31 /G32 /G33 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G30 /G31书 书 书/G21    /G22    /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 GB / T1.1 — 2009 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 。 /G21 /G22 /G23 /G2D /G2E GB / T14142 — 1993 《 /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B   /G3C /G3D /G3B 》。 /G21 /G22 /G23 /G3E GB / T14142 — 1993 /G3F /G40 , /G41 /G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 : ——— /G49 /G4A /G4B /G3A /G3B /G4C /G42 ( /G4D /G4E 4 /G4F , 1993 /G50 /G51 /G4E 2 /G4F ); ——— /G52 /G53 /G4B /G54 /G55 /G56 /G57 ( /G4D /G4E 5 /G4F ); ——— /G52 /G53 /G4B /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G3C /G3D /G3A /G3B ( /G4D 5.2 、 6.13 、 9.2.2 )。 /G21 /G22 /G23 /G5E /G5F /G60 /G61 /G62 /G34 /G63 /G64 /G65 /G66 /G67 /G22 /G23 /G46 /G43 /G44 /G68 /G69 /G6A ( SAC / TC203 ) /G3E /G5F /G60 /G61 /G62 /G34 /G63 /G64 /G65 /G66 /G67 /G22 /G23 /G46 /G43 /G44 /G68 /G69 /G6A /G66 /G67 /G6B /G43 /G44 /G68 /G69 /G6A ( SAC / TC203 / SC2 ) /G6C /G6D /G4C /G27 /G6E /G6F /G70 。 /G21 /G22 /G23 /G2B /G2C /G71 /G72 : /G73 /G74 /G60 /G75 /G76 /G77 /G78 /G79 /G7A /G7B 、 /G78 /G7C /G61 /G62 /G34 /G66 /G67 /G78 /G79 /G7A /G7B 、 /G7D /G7E /G7F /G80 /G81 /G82 /G43 /G83 /G84 /G78 /G79 /G7A /G7B 。 /G21 /G22 /G23 /G41 /G42 /G2B /G2C /G85 : /G86 /G87 /G88 、 /G89 /G8A 、 /G8B /G8C 、 /G8D /G8E /G8F 、 /G90 /G91 、 /G92 /G93 /G94 。 /G21 /G22 /G23 /G95 /G2D /G2E /G22 /G23 /G28 /G96 /G97 /G51 /G21 /G98 /G99 /G9A /G9B /G9C : ——— GB / T14142 — 1993 。 Ⅰ 犌犅 / 犜 14142 — 2017 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F   /G30 /G31 /G2F 1   /G32 /G33 /G21 /G22 /G23 /G29 /G9D /G4B /G9E /G46 /G9F /G3C /G3D /GA0 /GA1 , /G6E /G9E /G7F /G3F /GA0 /GA2 /GA3 /G38 /G39 /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G28 /G3A /G3B 。 /G21 /G22 /G23 /GA4 /G9E /GA5 /G2F /G30 /G31 /G32 /GA6 /GA7 /GA8 /G32 /GA9 /G65 /G72 /GA9 /GAA /GAB /G28 /G38 /G39 , /G2F /G30 /G31 /G32 /GAC /GAB /GAD /GA5 2 μ m , /GAE /GAF /GAA /GAB /G28 /GB0 /GB1 /GB2 /GB3 0 ~ 10000cm -2 。 2   /G34 /G32 /G2B /G35 /G36 /G37 /G38 /G48 /GB4 /GB5 /GB6 /GB7 /GA5 /G21 /GB5 /GB6 /G28 /GB8 /G9E /GB9 /GBA /GBB /GBC /GBD /G28 。 /GBE /GB9 /GBF /GC0 /GC1 /G28 /GC2 /G9E /GB5 /GB6 , /GC3 /GBF /GC0 /GC1 /G28 /G51 /G21 /GA4 /G9E /GA5 /G21 /GB5 /GB6 。 /GBE /GB9 /GBB /GBF /GC0 /GC1 /G28 /GC2 /G9E /GB5 /GB6 , /G5D /GC4 /GC5 /G51 /G21 ( /GC6 /GC7 /G95 /G78 /G28 /G49 /GC8 /G71 ) /GA4 /G9E /GA5 /G21 /GB5 /GB6 。 GB / T14264   /G61 /G62 /G34 /G66 /G67 /G44 /GC9 GB / T30453   /G2F /G66 /G67 /GCA /GCB /GAE /GAF /GCC /GCD 3   /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D GB / T14264 /G65 GB / T30453 /GCE /G9D /G28 /G44 /GC9 /G65 /G9D /GCF /GA4 /G9E /GA5 /G21 /GB5 /GB6 。 4   /G2E /G2F /G3E /G3F /G9E /G59 /GD0 、 /GD1 /GD2 /GD0 /GD3 /GD4 /G5B /GD5 /GD1 /GD2 /GD0 、 /GD6 /GD0 、 /GD7 /GD0 、 /GD6 /GD0 /GD8 /G28 /GD3 /GD4 /G5A /G5B /G3C /G3D /GB1 /GD9 , /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /GAE /GAF /GDA /GDB /GDC /G3C /G3D 。 /G9E /GA0 /GA2 /GA3 /GDD /GDE /GB1 /GD9 /G3C /G3D /GDF /GE0 , /GBC /GDD /GDE /GE1 /GAE /GAF /GE2 /GE3 /G6E /GB7 /GAE /GAF /GE4 /GE5 。 5   /G40 /G41 /G42 /G43 5 . 1   /G3C /G3D /G5B /GE6 /GE7 /GE8 /GE9 /GEA /GEB , /G78 /GEC /G98 、 /GED /GEE /GEF /GF0 /GF1 /G27 /GF0 , /GF2 /GF3 /G3C /G3D /GF4 /GF5 。 5 . 2   /GBB /G6D /G3C /G3D /G5B ( /G78 /G59 、 /G58 /G59 ) /G28 /GF6 /GF7 , /GBC /GF8 /G6A /GF9 /GFA /GFB /G6B /G2F /G30 /G31 /GFC /G28 /G3C /G3D /GF4 /GF5 /GBB /G6D 。 5 . 3   /G3C /G3D /GE8 /GE9 /GEA /GFD , /G47 /GF5 /GAE /GAF /GE2 /GE3 /GBB /GFE /GA0 , /GD5 /GFF /G27 /GF0 /G3D /G21 , /G2A /G3C /G3D /GE8 /GE9 /GB8 /G53 /GEB , /G6D /GE8 /G22 /G23 /G2F /G30 /G31 /G32 /GAC /GAB 。 5 . 4   /G3C /G3D /GE8 /GE9 /GEA /GEB , /G3C /G3D

.pdf文档 GB-T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

文档预览
中文文档 7 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分
温馨提示:本文档共7页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
GB-T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 第 1 页 GB-T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 第 2 页 GB-T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 第 3 页
下载文档到电脑,方便使用
本文档由 人生无常 于 2025-07-12 17:37:33上传分享
友情链接
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们微信(点击查看客服),我们将及时删除相关资源。