YS-T 1654-2023 氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

ICS 77.040 CCS H17 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 16542023 氮化镓化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法 Methods for chemical analysis of high purity gallium nitride -Determination of trace impurity elements contents Glow discharge mass spectrometry （报批稿） 202X-XX-XX发布 202X一XX一XX实施中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T × × × ×-202X 前言本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。本文件起草单位：国标（北京）检验认证有限公司、国合通用测试评价认证股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、厦门市科力电子有限公司、北京清质分析技术有限公司、贵研检测科技（云南）有限公司。本文件主要起草人：刘红、刘鹏宇、胡芳菲、杨复光、刘丽媛、赵景鑫、孙道儒、朱赞芳、谭秀珍李俊需、李铭、马媛。

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