ICS 29.045 H 80 中华人民共和国国家标准 GB/T 13388—2009 代替GB/T13388—1992 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques 2009-10-30发布 2010-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国 国家标准 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 GB/T13388—2009 中国标准出版社出版发行 北京复兴门外三里河北街16号 邮政编码：100045 网址www.spc.net.cn 电话：6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 * 开本880×12301/16 印张0.75 字数17千字 2010年1月第一版2010年1月第一次印刷 书号：1550661-39864定价16.00元 如有印装差错 由本社发行中心调换 版权专有侵权必究 举报电话：（010)68533533 建筑321---标准查询下载网 www.jz321.net

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