GB-T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

ICS 71.040.40 N33 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T20175-2006/ISO14606:2000 表面化学分析溅射深度部析用层状膜系为参考物质的优化方法 Surface chemical analysis--Sputter depth profiling- Optimization using layered system as reference materials (ISO14606:2000,IDT) 2006-03-27发布 2006-11-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T20175—2006/ISO14606:2000 目次前言引言… 范围术语和定义· 符号和缩略语溅射深度剖析的参数设定 5 溅射深度剖析时理想突变界面的深度分辨 6 参数设定优化的步骤附录A（资料性附录）影响深度分辨的因素附录B（资料性附录）典型单层膜系参考物质附录C（资料性附录）典型多层膜系参考物质 10 附录D（资料性附录）多层膜系的使用 11 参考文献 12

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