ICS 31.080.99 CCS L 90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T43493.3—2023/IEC 63068-3:2020 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的 无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法 Semiconductor device-Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbidehomoepitaxial waferforpower devicesPart 3:Test methodfor defects using photoluminescence （IEC63068-3:2020.IDT) 2023-12-28发布 2024-07-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会
GB-T 43493.3-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法
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