ICS 31.080.99 CCS L 90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T43493.1—2023/IEC63068-1:2019 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的 无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类 Semiconductor device-Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices-Part 1:Classification of defects （IEC63068-1:2019,IDT) 2023-12-28发布 2024-07-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会
GB-T 43493.1-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类
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